Volume 01, No.5 Page 44
8. 告知板／ANNOUNCEMENTS
放射光産業利用懇談会 講演会（第5回）
Symposium by Synchrotron Radiation Application Consortium
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共 催： 電気学会／光・量子デバイス技術委員会
後 援： (財)大阪科学技術センター、(社)大阪ニュークリアサイエンス協会
日 時： 平成8年12月13日(金) 13：30～17：00
場 所： 住友重機械工業㈱本社ビル13F大会議室
東京都品川区北品川5-9-11（住友重機械ビル） ： JR山手線「大崎」駅下車徒歩8分大学、国公立研究所の方は参加自由です。
事前に事務局（米倉TEL：0775-61-2806 FAX：0775-61-2859）まで、所属、お名前をお知らせ下さい。
また、企業の方の参加は、共催団体の会員に限らせていただきます。
テーマ「放射光による半導体加工プロセスの最先端」
o 講 演
13：30～13：40
開会挨拶
13：40～14：20
放射光リングラフィ開発の現状と展望
日本電気㈱マイクロエレクトロニクス研究所 担当部長 鈴木 克美
14：20～15：10
放射光による半導体加工研究の現状と展望
分子科学研究所 反応動力学研究部門 教授 宇理須 恒雄
15：10～15：25 休 憩
15：25～16：05
放射光を用いたSi低温固相成長（SPEXI）
日本放送協会 放送技術研究所 主任研究員 佐藤 史郎
16：05～16：45
NTTにおける放射光利用研究の現状
NTTシステムエレクトロニクス研究所 主任研究員 内海 裕一
16：45～17：00
閉会挨拶－小型光源開発の紹介を含めて
住友重機械工業㈱量子技術研究所 所長 飯倉 督夫
