ページトップへ戻る

Volume 01, No.5 Page 44

8. 告知板/ANNOUNCEMENTS

放射光産業利用懇談会 講演会(第5回)
Symposium by Synchrotron Radiation Application Consortium

pdfDownload PDF (15 KB)


共 催: 電気学会/光・量子デバイス技術委員会


後 援: (財)大阪科学技術センター、(社)大阪ニュークリアサイエンス協会


日 時: 平成8年12月13日(金) 13:30~17:00


場 所: 住友重機械工業㈱本社ビル13F大会議室

     東京都品川区北品川5-9-11(住友重機械ビル)

   : JR山手線「大崎」駅下車徒歩8分


 大学、国公立研究所の方は参加自由です。

 事前に事務局(米倉TEL:0775-61-2806 FAX:0775-61-2859)まで、所属、お名前をお知らせ下さい。

 また、企業の方の参加は、共催団体の会員に限らせていただきます。


テーマ「放射光による半導体加工プロセスの最先端」


o 講 演

13:30~13:40

   開会挨拶


13:40~14:20

   放射光リングラフィ開発の現状と展望

     日本電気㈱マイクロエレクトロニクス研究所 担当部長  鈴木 克美


14:20~15:10

   放射光による半導体加工研究の現状と展望

     分子科学研究所 反応動力学研究部門 教授  宇理須 恒雄


15:10~15:25  休 憩


15:25~16:05

   放射光を用いたSi低温固相成長(SPEXI)

     日本放送協会 放送技術研究所 主任研究員  佐藤 史郎


16:05~16:45

   NTTにおける放射光利用研究の現状

     NTTシステムエレクトロニクス研究所 主任研究員  内海 裕一


16:45~17:00

   閉会挨拶-小型光源開発の紹介を含めて

 

     住友重機械工業㈱量子技術研究所 所長  飯倉 督夫



Print ISSN 1341-9668
[ - Vol.15 No.4(2010)]
Online ISSN 2187-4794