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Volume 01, No.4 Page 54

6. 告知板/ANNOUNCEMENTS

放射光産業利用技術懇談会 講演会(第5回)
Symposium by Synchrotron Radiation Application Consortium

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共 催 : 電気学会/光・量子デバイス技術委員会
後 援 : (財)大阪科学技術センター
      (社)大阪ニュークリアサイエンス協会
日 時 : 平成8年12月13日(金)13:30~17:00
場 所 : 住友重機械工業㈱本社ビル13F大会議室
        東京都品川区北品川5-9-11(住友重機械ビル)
    : JR山手線「大崎」駅下車徒歩8分
大学、国公立研究所の方は参加自由です。
事前に事務局(米倉TEL:0775-61-2806 FAX:0775-61-2859)まで、所属、お名前をお知らせ下さい。
また、企業の方の参加は、共催団体の会員に限らせていただきます。

 

 

テーマ「放射光による半導体加工プロセスの最先端」

 

○講 演

13:30~13:40
開会挨拶
13:30~13:40
放射光リングラフィ開発の現状と展望
日本電気㈱マイクロエレクトロニクス研究所 担当部長  鈴木 克美
14:20~15:10
放射光による半導体加工研究の現状と展望
分子科学研究所 反応動力学研究部門 教授  宇理須恒雄
15:10~15:25  休 憩
15:25~16:05
放射光を用いたSi低温固相成長(SPEXI)
日本放送協会 放送技術研究所 主任研究員  佐藤 史郎
16:05~16:45
NTTにおける放射光利用研究の現状
NTTシステムエレクトロニクス研究所 主任研究員  内海 裕一
16:45~17:00
閉会挨拶-小型光源開発の紹介を含めて
住友重機械工業㈱量子技術研究所 所長  飯倉 督夫

 

 

Print ISSN 1341-9668
[ - Vol.15 No.4(2010)]
Online ISSN 2187-4794