Volume 01, No.4 Page 54
6. 告知板／ANNOUNCEMENTS
放射光産業利用技術懇談会 講演会（第5回）
Symposium by Synchrotron Radiation Application Consortium
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| 共 催 ： 電気学会／光・量子デバイス技術委員会 |
| 後 援 ： （財）大阪科学技術センター |
| （社）大阪ニュークリアサイエンス協会 |
| 日 時 ： 平成8年12月13日（金）13：30～17：00 |
| 場 所 ： 住友重機械工業㈱本社ビル13F大会議室 |
| 東京都品川区北品川5-9-11（住友重機械ビル） |
| ： JR山手線「大崎」駅下車徒歩8分 |
| 大学、国公立研究所の方は参加自由です。 |
| 事前に事務局（米倉TEL：0775-61-2806 FAX：0775-61-2859）まで、所属、お名前をお知らせ下さい。 |
| また、企業の方の参加は、共催団体の会員に限らせていただきます。 |
テーマ「放射光による半導体加工プロセスの最先端」
○講 演
| 13：30～13：40 | |
| 開会挨拶 | |
| 13：30～13：40 | |
| 放射光リングラフィ開発の現状と展望 | |
| 日本電気㈱マイクロエレクトロニクス研究所 担当部長 鈴木 克美 | |
| 14：20～15：10 | |
| 放射光による半導体加工研究の現状と展望 | |
| 分子科学研究所 反応動力学研究部門 教授 宇理須恒雄 | |
| 15：10～15：25 休 憩 | |
| 15：25～16：05 | |
| 放射光を用いたSi低温固相成長（SPEXI） | |
| 日本放送協会 放送技術研究所 主任研究員 佐藤 史郎 | |
| 16：05～16：45 | |
| NTTにおける放射光利用研究の現状 | |
| NTTシステムエレクトロニクス研究所 主任研究員 内海 裕一 | |
| 16：45～17：00 | |
| 閉会挨拶－小型光源開発の紹介を含めて | |
| 住友重機械工業㈱量子技術研究所 所長 飯倉 督夫 | |
