タイトル・発表先
研究成果番号
9939
登録日時
2007.01.30 10:57
DOI
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Photoemission Study of Ultrathin HfSiON/Si(100) Systems
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Transactions of the Materials Research Society of Japan
巻
31
号
1
発行年
2006
頁
125-128
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
16th Material Research and Sciences-Japan
開催日
2005.12.09-12.11
開催都市
Tokyo, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0016174
Ohta
Akio
Hiroshima University
共著者 1
Nakagawa
Hiroshi
Hiroshima University
共著者 2
0017074
Murakami
Hideki
Hiroshima University
共著者 3
Higashi
Seiichirou
Hiroshima University
共著者 4
0016161
Miyazaki
Seiichi
Hiroshima University
共著者 5
Inumiya
Seiji
Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.
共著者 6
Nara
Yasuo
Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.
関連課題情報
課題番号
2005A0410
ビームライン
BL47XU
実験責任者
財満 鎭明
課題番号
2005B0005
ビームライン
BL47XU
実験責任者
財満 鎭明