タイトル・発表先
研究成果番号
9936
登録日時
2007.01.30 10:57
DOI
10.1107/S090904950602855X
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Crystallinity Estimation of Thin Silicon-on-Insulator Layers by Means of Diffractometry using a Highly Parallel X-ray Microbeam
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Journal of Synchrotron Radiation
巻
13
号
5
発行年
2006
頁
373-377
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0003437
Takeda
Shingo
SPring-8/JASRI
共著者 1
0001341
Yokoyama
Kazushi
Hyogo Prefectural Center for Advanced Science and Technology
共著者 2
0001231
Tsusaka
Yoshiyuki
University of Hyogo
共著者 3
0001230
Kagoshima
Yasushi
University of Hyogo
共著者 4
0001232
Matsui
Junji
Hyogo Prefectural Center for Advanced Science and Technology
共著者 5
0015928
Ogura
Atsushi
Meiji University
関連課題情報
課題番号
C03B5043
ビームライン
BL24XU
実験責任者
津坂 佳幸