タイトル・発表先
研究成果番号
960
登録日時
2007.01.30 10:55
DOI
10.1016/S0022-0248(99)00655-7
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Characterization of SOI Wafers by X-Ray CTR Scattering
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Journal of Crystal Growth
巻
210
号
1-3
発行年
2000
頁
98-101
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001281
Shimura
Takayoshi
Osaka University
共著者 1
0004419
Hosoi
Takuji
Osaka University
共著者 2
0005066
Umeno
Masataka
Osaka University
関連課題情報
課題番号
1999A0024
ビームライン
BL09XU
実験責任者
志村 考功