タイトル・発表先
研究成果番号
9562
登録日時
2007.01.30 10:57
DOI
10.1063/1.2190467
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Oxidation of Si(001) with a Hyperthermal O-atom Beam at Room Temperature: Suboxide Distribution and Residual Order Structure
日本語タイトル
超熱酸素原子ビームによるSi(001)の室温酸化：サブオキサイド分布と残留配列構造
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Applied Physics Letters
巻
88
号
13
発行年
2006
頁
133512
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0002812
Tagawa
Masahito
Kobe University
共著者 1
0002810
Sogoh
Chie
Kobe University
共著者 2
0002811
Yokota
Kumiko
Kobe University
共著者 3
0001305
Yoshigoe
Akitaka
JAEA
共著者 4
0000390
Teraoka
Yuden
JAEA
共著者 5
0001281
Shimura
Takayoshi
Osaka University
関連課題情報
課題番号
2005A0013
ビームライン
BL23SU
実験責任者
田川 雅人