タイトル・発表先
研究成果番号
9127
登録日時
2007.01.30 10:57
DOI
10.2472/jsms.54.704
オープンアクセスジャーナルURL
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsms/54/7/54_7_704/_article/-char/ja/
英語タイトル
Residual Stress Distribution in TiN Thin Films with Fiber Texture Measured by Grazing Incidence and Scattering Vector X-Ray Methods
日本語タイトル
繊維配向したTiN薄膜中の残留応力の低角入射X線法および散乱ベクトル法による測定
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
材料 (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
巻
54
号
7
発行年
2005
頁
704-709
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0005201
Tanaka
Keisuke
Nagoya University
共著者 1
0006320
Akiniwa
Yoshiaki
Nagoya University
共著者 2
0013460
Kawai
Masanori
Nagoya University
共著者 3
0006323
Ito
Toshimasa
Denso Corporation
関連課題情報
課題番号
2004A0309
ビームライン
BL13XU
実験責任者
田中 啓介