タイトル・発表先
研究成果番号
8536
登録日時
2007.01.30 10:57
DOI
10.1143/JJAP.42.3976
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Real-Time Monitoring of Initial Thermal Oxidation on Si(001) Surface by Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy
日本語タイトル
放射光光電子分光法によるSi(001)表面の初期熱酸化のリアルタイムモニタリング
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Japanese Journal of Applied Physics
巻
42
号
6B
発行年
2003
頁
3976-3982
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001305
Yoshigoe
Akitaka
SPring-8/JAERI
共著者 1
0007459
Moritani
Kousuke
SPring-8/JAERI
共著者 2
0000390
Teraoka
Yuden
SPring-8/JAERI
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment