タイトル・発表先
研究成果番号
8067
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1016/j.elspec.2005.03.004
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
X-ray Absorption and Emission Spectroscopy at the Hf-L
1
Edge of Hafnium-(Silicon)-Oxide Ultra-Thin Film
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
巻
148
号
2
発行年
2005
頁
75-79
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0004121
Uehara
Yasushi
Mitsubishi Electric Corporation
共著者 1
0005022
Kawase
Kazumasa
Mitsubishi Electric Corporation
共著者 2
Tsuchimoto
Jun'ichi
Renesas Corporation
共著者 3
Shibano
Teruo
Mitsubishi Electric Corporation
関連課題情報
課題番号
C03B3014
ビームライン
BL16XU
実験責任者
上原 康