タイトル・発表先
研究成果番号
7795
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.3131/jvsj.48.343
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy for Chemical Bonding of N Atoms in Oxynitride Films Formed at SiO
2
/Si(001) by N
+
Beam Irradiation
日本語タイトル
N
+
ビーム照射で形成したSi酸窒化膜における窒素化学結合状態の放射光X線光電子分光測定
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
真空 (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻
48
号
5
発行年
2005
頁
343-345
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0002641
Hachiue
Syunsuke
SPring-8/JAERI, Kobe University
共著者 1
0000390
Teraoka
Yuden
SPring-8/JAERI
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment