タイトル・発表先
研究成果番号
7555
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Characterization of Amorphous Hafnium Silicate and Hafnium Aluminate Films by Grazing-Incidence X-ray Scattering
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Transactions of the Materials Research Society of Japan
巻
30
号
1
発行年
2005
頁
221-224
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0002088
Hirosawa
Ichiro
SPring-8/JASRI
共著者 1
Kitajima
Hiroshi
Semiconductor Lead Edge Technology, Inc.
共著者 2
Torii
Kazuyoshi
Semiconductor Lead Edge Technology, Inc.
関連課題情報
課題番号
J04B0509
ビームライン
BL19B2
実験責任者
廣沢 一郎
課題番号
2004A0540
ビームライン
BL46XU
実験責任者
廣沢 一郎