タイトル・発表先
研究成果番号
7500
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1016/j.tsf.2004.09.040
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Comparison of Ordered Structure in Buried Oxide Layers in High-Dose, Low-Dose, and Internal-Thermal-Oxidation Separation-by-Implanted-Oxygen Wafers
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Thin Solid Films
巻
476
号
1
発行年
2005
頁
125-129
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001281
Shimura
Takayoshi
Osaka University
共著者 1
0006085
Fukuda
Kazunori
Osaka University
共著者 2
Yasutake
Kiyoshi
Osaka University
共著者 3
0004419
Hosoi
Takuji
Osaka University
共著者 4
0005066
Umeno
Masataka
Fukui University of Technology
関連課題情報
課題番号
1999A0024
ビームライン
BL09XU
実験責任者
志村 考功
課題番号
2002A0168
ビームライン
BL13XU
実験責任者
志村 考功