タイトル・発表先
7368
2007.01.30 10:56
10.1063/1.1864245
X-ray Diffraction Measurements of Internal Strain in Si Nanowires Fabricated using a Self-Limiting Oxidation Process
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Applied Physics Letters
86 7 2005 071903
著者情報
 
主著者 0001281 Shimura Takayoshi Osaka University
共著者 1 Yasutake Kiyoshi Osaka University
共著者 2 0005066 Umeno Masataka Fukui University of Technology
共著者 3 Nagase Masao NTT Basic Research Laboratories
関連課題情報
2000B0068 BL09XU 志村 考功