タイトル・発表先
研究成果番号
7127
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1016/j.microrel.2004.02.017
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Characterization of Interface Defects Related to Negative-Bias Temperature Instability in Ultrathin Plasma-Nitrided SiON/Si<100> Systems
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Microelectronics Reliability
巻
45
号
1
発行年
2005
頁
57-64
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
Fujieda
Shinji
NEC Corporation
共著者 1
Miura
Yoshinao
NEC Corporation
共著者 2
Saitoh
Motofumi
NEC Corporation
共著者 3
0000390
Teraoka
Yuden
SPring-8/JAERI
共著者 4
0001305
Yoshigoe
Akitaka
SPring-8/JAERI
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment