タイトル・発表先
6539
2007.01.30 10:56
10.2472/jsms.53.728
https://doi.org/10.2472/jsms.53.728
In-situ Synchrotron Measurement of Thermal Stress in Textured Copper Thin Films during Thermal Cycling
熱サイクルを受ける銅薄膜中の内部応力の放射光によるその場測定
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
材料 (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
53 7 2004 728-733
著者情報
 
主著者 0005201 Tanaka Keisuke Nagoya University
共著者 1 0006323 Ito Toshimasa Denso Corporation
共著者 2 0006230 Akiniwa Yoshiaki Nagoya University
共著者 3 Ohta Hitoyuki Hitachi, Ltd.
関連課題情報
2002A0281 BL02B1 田中 啓介