タイトル・発表先
研究成果番号
6430
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1016/j.tsf.2003.12.102
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Residual Stress and Thermal Stress Observation in Thin Copper Films
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Thin Solid Films
巻
459
号
1-2
発行年
2004
頁
245-248
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
The European Vacuum Congress Berlin Combined with 8th European Vacuum Conference EVC-8 and Annual Conference of the German Vacuum Society
開催日
2003.06.23-06.26
開催都市
Berlin, Germany
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0008084
Hanabusa
Takao
The University of Tokushima
共著者 1
0008085
Kusaka
Kazuya
The University of Tokushima
共著者 2
0003369
Sakata
Osami
JASRI
関連課題情報
課題番号
2003A0305
ビームライン
BL13XU
実験責任者
英 崇夫