タイトル・発表先
研究成果番号
6264
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1143/JJAP.42.7493
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Novel Interface Structures between Ultrathin Oxynitride and Si(001) Studied by X-ray Diffraction
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Japanese Journal of Applied Physics
巻
42
号
12
発行年
2003
頁
7493-7496
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0003142
Takahashi
Isao
Kwansei Gakuin University
共著者 1
0006215
Shimazu
Hiromitsu
Kwansei Gakuin University
共著者 2
0008200
Inoue
Kouji
Kwansei Gakuin University
共著者 3
0007338
Kitahara
Amane
SPring-8/JASRI
共著者 4
0006067
Tanaka
Norihisa
Kwansei Gaukin University
共著者 5
0003408
Terauchi
Hikaru
Kwansei Gakuin University
共著者 6
0006082
Kada
Toshiteru
Kwansei Gakuin University
共著者 7
0003157
Doi
Syuichi
Fujitsu Laboratories
共著者 8
0003409
Nomura
Kenji
Fujitsu Laboratories
共著者 9
0004141
Awaji
Naoki
Fujitsu Laboratories
共著者 10
0004072
Komiya
Satoshi
SPring-8/JASRI
関連課題情報
課題番号
2000B0230
ビームライン
BL09XU
実験責任者
古宮 聰