タイトル・発表先
研究成果番号
6137
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1051/epjap:2004067
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Characterization of SOI Wafers by Synchrotron X-ray Topography
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
The European Physical Journal - Applied Physics
巻
27
号
1-3
発行年
2004
頁
439-442
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001281
Shimura
Takayoshi
Osaka University
共著者 1
0006085
Fukuda
Kazunori
Osaka University
共著者 2
Yasutake
Kiyoshi
Osaka University
共著者 3
Umeno
Masataka
Osaka University
関連課題情報
課題番号
2002B0596
ビームライン
BL20B2
実験責任者
志村 考功
課題番号
2003A0276
ビームライン
BL20B2
実験責任者
志村 考功