タイトル・発表先
研究成果番号
6136
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.14852/jcersjsuppl.112.0.S1476.0
オープンアクセスジャーナルURL
https://doi.org/10.14852/jcersjsuppl.112.0.S1476.0
英語タイトル
Grazing Incidence X-ray Scattering to Characterize the Thin Amorphous SiOx Film on Silicon Substrate
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
日本セラミックス協会学術論文誌 (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻
112
号
1305
発行年
2004
頁
S1476-S1478
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
The 5th Meeting of the Pacific Rim Ceramic Societies
開催日
2003.09.29-10.02
開催都市
Nagoya, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0002088
Hirosawa
Ichiro
JASRI
共著者 1
0004121
Uehara
Yasushi
Mitsubishi Electric Corporation
共著者 2
0002072
Sato
Masugu
JASRI
共著者 3
0003515
Umesaki
Norimasa
JASRI
関連課題情報
課題番号
2003A0645
ビームライン
BL19B2
実験責任者
廣沢 一郎
課題番号
C00B4018
ビームライン
BL16B2
実験責任者
上原 康