タイトル・発表先
研究成果番号
5953
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
オープンアクセスジャーナルURL
https://hdl.handle.net/11094/44226
英語タイトル
No English title
日本語タイトル
放射光X線回折法による極薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエーハの構造評価に関する研究
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Doctoral Thesis (Osaka University)
巻
号
発行年
2002
頁
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0006085
Fukuda
Kazunori
Osaka University
関連課題情報
課題番号
2001B0117
ビームライン
BL28B2
実験責任者
志村 考功