タイトル・発表先
研究成果番号
5688
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1016/S0169-4332(03)00389-1
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Depth Profiling of Oxynitride Film Formed on Si(100) by Photon Energy Dependent Photoelectron Spectroscopy
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Applied Surface Science
巻
216
号
1-4
発行年
2003
頁
287-290
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0008118
Nishizaki
Kyoko
Musashi Institute of Technology
共著者 1
0008035
Nohira
Hiroshi
Musashi Institute of Technology
共著者 2
0008044
Takahashi
Kensuke
Musashi Institute of Technology
共著者 3
0006816
Kamakura
Nozomu
SPring-8/RIKEN
共著者 4
0001866
Takata
Yasutaka
SPring-8/RIKEN
共著者 5
0001732
Shin
Shik
SPring-8/RIKEN
共著者 6
0001835
Kobayashi
Keisuke
SPring-8/JASRI
共著者 7
Tamura
Naoyoshi
Fujitsu, Ltd.
共著者 8
Hikazutani
Kenichi
Fujitsu, Ltd.
共著者 9
0007880
Hattori
Takeo
Musashi Institute of Technology
関連課題情報
課題番号
2003B0103
ビームライン
BL27SU
実験責任者
服部 健雄
課題番号
2002B0477
ビームライン
BL27SU
実験責任者
服部 健雄