タイトル・発表先
研究成果番号
5422
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1063/1.1586970
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Application of Phase-Retrieval X-Ray Diffractometry to Carbon Doped SiGe(C)/Si(C) Superlattice Structures
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Journal of Applied Physics
巻
94
号
2
発行年
2003
頁
1007-1012
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0013606
Siu
Karen K.-W.
Monash University
共著者 1
0001876
Nikulin
Andrei
Monash University
共著者 2
Zaumsei
Peter
Innovations for High Perfomance Microelectronics
共著者 3
0000314
Yamazaki
Hiroshi
SPring-8/JASRI
共著者 4
0000179
Ishikawa
Tetsuya
RIKEN/SPring-8
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL29XU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Instrumentation & Technique