タイトル・発表先
5325
2007.01.30 10:56
10.1063/1.1595714
High Resolution-High Energy X-Ray Photoelectron Spectroscopy Using Third-Generation Synchrotron Radiation Source, and Its Application to Si-High k Insulator Systems
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Applied Physics Letters
83 5 2003 1005-1007
著者情報
 
主著者 0001835 Kobayashi Keisuke SPring-8/JASRI
共著者 1 0000387 Yabashi Makina SPring-8/JASRI
共著者 2 0001866 Takata Yasutaka SPring-8/RIKEN
共著者 3 0004230 Tokushima Takashi SPring-8/RIKEN
共著者 4 0001732 Shin Shik SPring-8/RIKEN
共著者 5 0000342 Tamasaku Kenji SPring-8/RIKEN
共著者 6 0001748 Miwa Daigo SPring-8/RIKEN
共著者 7 0000179 Ishikawa Tetsuya SPring-8/RIKEN
共著者 8 0008035 Nohira Hiroshi Musashi Institute of Technology
共著者 9 0007880 Hattori Takeo Musashi Institute of Technology
共著者 10 Sugita Y. Fujitsu Laboratories, Ltd.
共著者 11 0014728 Nakatsuka Osamu Nagoya University
共著者 12 0015182 Sakai Akira Nagoya University
共著者 13 0015932 Zaima Shigeaki Nagoya University
関連課題情報
None BL29XU SPring-8 Instrumentation & Technique