タイトル・発表先
研究成果番号
5313
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1143/JJAP.42.5749
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Oxidation of Aqueous HF-Treated Si(001) Surface Induced by Translational Kinetic Energy of O
2
at Room Temperature
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Japanese Journal of Applied Physics
巻
42
号
9A
発行年
2003
頁
5749-5750
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001305
Yoshigoe
Akitaka
JAERI
共著者 1
0000390
Teraoka
Yuden
JAERI
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment