タイトル・発表先
研究成果番号
5111
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1143/JJAP.42.4671
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
SiO Mass Spectrometry and Si-2p Photoemission Spectroscopy for the Study of Oxidation Reaction Dynamics of Si(001) Surface by Supersonic O
2
Molecular Beams under 1000 K
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Japanese Journal of Applied Physics
巻
42
号
7B
発行年
2003
頁
4671-4675
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
Asia-Pacific Surface and Interface Analysis Conference 2002 (APSIAC'02)
開催日
2002.10.01-10.04
開催都市
Tokyo, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0000390
Teraoka
Yuden
JAERI
共著者 1
0001305
Yoshigoe
Akitaka
JAERI
共著者 2
0007459
Moritani
Kousuke
JAERI, Osaka University
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment