タイトル・発表先
研究成果番号
5037
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1016/S0169-4332(03)00451-3
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Real Time Observation of Initial Thermal Oxidation Using O
2
Gas on Si(001) Surface by Means of Synchrotron Radiation Si-2p Photoemission Spectroscopy
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Applied Surface Science
巻
216
号
1-4
発行年
2003
頁
388-394
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
4th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
開催日
2002.10.21-10.25
開催都市
Karuizawa, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001305
Yoshigoe
Akitaka
JAERI
共著者 1
0007459
Moritani
Kousuke
JASRI, Osaka University
共著者 2
0000390
Teraoka
Yuden
JASRI
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment