タイトル・発表先
研究成果番号
4939
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1107/S0021889803005132
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Grazing Incidence Small-Angle X-Ray Scattering and Diffraction Study of the Resistance of Mo Implanted Si Wafer After Annealing
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Journal of Applied Crystallography
巻
36
号
3-1
発行年
2003
頁
612-616
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
XIIth International Conference on Small-Angle Scattering
開催日
2002.08.25-08.29
開催都市
Venice, Italy
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0006844
Lee
Chih-Hao
National Tsing-Hua University
共著者 1
0008288
Qiu
Chui-Zhang
National Tsing-Hua University
共著者 2
0006845
Yu
Kuan-Li
National Tsing-Hua University
共著者 3
Liang
Jenq-Horng
National Tsing-Hua University
共著者 4
Tsai
Chun-Tse
National Tsing-Hua University
共著者 5
0007017
Lin
Ming-Zhe
National Tsing-Hua University
関連課題情報
課題番号
C02A1002
ビームライン
BL12B2
実験責任者
Lee Chih-Hao
課題番号
C02A1003
ビームライン
BL12B2
実験責任者
Lee Chih-Hao