タイトル・発表先
研究成果番号
485
登録日時
2007.01.30 10:55
DOI
10.1143/JJAP.40.4195
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Synchrotron Radiation-Induced Nitrization and Oxidation on Si Surface at Low Temperature
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Japanese Journal of Applied Physics
巻
40
号
6A
発行年
2001
頁
4195-4196
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0003417
Kanashima
Takeshi
Osaka University
共著者 1
0003577
Maida
Osamu
Osaka University, JASRI
共著者 2
0004489
Kohma
Norinao
Osaka University
共著者 3
0004171
Agata
Masashi
Osaka University
共著者 4
0004487
Yudate
Shinji
Osaka University
共著者 5
0005055
Ueno
Masato
Osaka University
共著者 6
0003418
Okuyama
Masanori
Osaka University
共著者 7
0001102
Ohashi
Haruhiko
JASRI
関連課題情報
課題番号
1999B0424
ビームライン
BL27SU
実験責任者
奥山 雅則
課題番号
1999A0273
ビームライン
BL27SU
実験責任者
奥山 雅則
課題番号
1999A0274
ビームライン
BL27SU
実験責任者
奥山 雅則