タイトル・発表先
研究成果番号
4819
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.3131/jvsj.46.424
オープンアクセスジャーナルURL
https://doi.org/10.3131/jvsj.46.424
英語タイトル
Real-time Observation of Initial Stages of Thermal Oxidation on Si(001) Surface by Using Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy
日本語タイトル
放射光リアルタイム光電子分光を用いた酸素ガスによるSi(001)表面の熱酸化初期過程の"その場"観察
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
真空 (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻
46
号
5
発行年
2003
頁
424-428
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
第43回 真空に関する連合講演会
開催日
2002.10.16-10.18
開催都市
Toyonaka, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001305
Yoshigoe
Akitaka
JAERI
共著者 1
0007459
Moritani
Kousuke
Osaka University
共著者 2
0000390
Teraoka
Yuden
JAERI
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment