タイトル・発表先
研究成果番号
4779
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1016/j.vacuum.2004.01.029
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Evaluation of Internal Stresses in TiN Thin Films by Synchrotron Radiation
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Vacuum
巻
74
号
3-4
発行年
2004
頁
571-575
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
The 7th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP 2003)
開催日
2003.06.11-06.13
開催都市
Kanazawa, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0008084
Hanabusa
Takao
Tokushima University
共著者 1
0008085
Kusaka
Kazuya
Tokushima University
共著者 2
0008092
Matsue
Tatsuya
Niihama National College of Technology
共著者 3
0008086
Nishida
Masayuki
Kobe City College of Technology
共著者 4
0003369
Sakata
Osami
JASRI
共著者 5
0008195
Sato
Toshiki
Kobe Steel, Ltd.
関連課題情報
課題番号
2002A0258
ビームライン
BL13XU
実験責任者
英 崇夫