タイトル・発表先
43740
2022.06.11 20:45
10.35848/1347-4065/ac646d
Effects of Carbon Impurity in ALD-Al2O3 Film on HAXPES Spectrum and Electrical Properties of Al2O3/AlGaN/GaN MIS Structure
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Japanese Journal of Applied Physics
61 6 2022 065502
[A80] 産業利用
[M50] 光電子分光
著者情報
 
主著者 0053732 Shibata Takuya Nara Institute of Science and Technology
共著者 1 Uenuma Mutsunori Nara Institute of Science and Technology
共著者 2 0022287 Yamada Takahiro Mitsubishi Electric Corporation
共著者 3 0053011 Yoshitsugu Koji Mitsubishi Electric Corporation
共著者 4 0050087 Higashi Masato Nara Institute of Science and Technology
共著者 5 Nishimura Kunihiko Mitsubishi Electric Corporation
共著者 6 0044435 Uraoka Yukiharu Nara Institute of Science and Technology
関連課題情報
2020A5130 BL16XU 今澤 貴史
2021B5131 BL16XU 南條 拓真
2021B5132 BL16XU 山田 高寛