タイトル・発表先
43108
2022.03.07 12:48
10.35848/1347-4065/ac4a09
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac4a09
Non-destructive Depth Profile Evaluation of Multi-layer Thin Film Stack using Simultaneous Analysis of Data from Multiple X-ray Photoelectron Spectroscopy Instruments
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
Japanese Journal of Applied Physics
61 4 2022 046501
[A30] 物質科学・材料科学
[M50] 光電子分光
著者情報
 
主著者 Hoshina Yutaka Sumitomo Electric Industries, Ltd.
共著者 1 0031046 Tokuda Kazuya Sumitomo Electric Industries, Ltd.
共著者 2 0005588 Saito Yoshihiro Sumitomo Electric Industries, Ltd.
共著者 3 0028509 Kubo Yugo Sumitomo Electric Industries, Ltd.
共著者 4 0003239 Iihara Junji Sumitomo Electric Industries, Ltd.
関連課題情報
2021A5032 BL16XU 徳田 一弥