タイトル・発表先
研究成果番号
42624
登録日時
2021.11.05 08:29
DOI
10.1107/S1600577521009401
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
A Practical Method for Determining Film Thickness using X-ray Absorption Spectroscopy in Total Electron Yield Mode
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Journal of Synchrotron Radiation
巻
28
号
6
発行年
2021
頁
1820-1824
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
[A80] 産業利用
研究手法
[M40] X線・軟X線吸収分光
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0006869
Isomura
Noritake
Toyota Central R&D Laboratories., Inc.
共著者 1
Oh-ishi
Keiichiro
Toyota Central R&D Laboratories., Inc.
共著者 2
0018550
Takahashi
Naoko
Toyota Central R&D Laboratories., Inc.
共著者 3
0017224
Kosaka
Satoru
Toyota Central R&D Laboratories., Inc.
関連課題情報
課題番号
2021A5070
ビームライン
BL16XU
実験責任者
高橋 直子
課題番号
2021A5371
ビームライン
BL16B2
実験責任者
小坂 悟