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タイトル・発表先
研究成果番号	39551
登録日時	2020.03.06 09:58
DOI	10.7567/JJAP.57.090314
オープンアクセスジャーナルURL	https://doi.org/10.7567/JJAP.57.090314
英語タイトル	X-ray Topographical Analysis of 4H-SiC Epitaxial Layers using a Forward-Transmitted Beam under a Multiple-Beam Diffraction Condition
日本語タイトル
発表形式	原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）	誌名 Japanese Journal of Applied Physics 巻 57 号 9 発行年 2018 頁 090314
発表先（口頭／ポスター発表）	講演会名開催日開催都市
研究分野	[A80] 産業利用
研究手法	[M60] X線イメージング

著者情報
	ユーザーカード番号	姓	名	所属
主著者	0009160	Kamata	Isaho	Central Research Institute of Electric Power Industry
共著者 1	0001231	Tsusaka	Yoshiyuki	University of Hyogo
共著者 2	0006449	Tanuma	Ryohei	Central Research Institute of Electric Power Industry
共著者 3	0001232	Matsui	Junji	University of Hyogo