タイトル・発表先
研究成果番号
3694
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1143/JJAP.42.L117
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Large-Area X-Ray Topographs of Lattice Undulation of Bonded Silicon-On-Insulator Wafers
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Japanese Journal of Applied Physics
巻
42
号
2A
発行年
2003
頁
L117-L119
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0006085
Fukuda
Kazunori
Osaka University
共著者 1
0006087
Yoshida
Takayoshi
Osaka University
共著者 2
0001281
Shimura
Takayoshi
Osaka University
共著者 3
Yasutake
Kiyoshi
Osaka University
共著者 4
0005066
Umeno
Masataka
Fukui University
関連課題情報
課題番号
2002A0171
ビームライン
BL20B2
実験責任者
志村 考功