タイトル・発表先
研究成果番号
3692
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.4028/www.scientific.net/SSP.82-84.485
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Existence of an Epitaxially Ordered Phase in the Buried Oxide of SIMOX Wafers
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Solid State Phenomena
巻
82-84
号
発行年
2002
頁
485-490
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
9th International Autamn Meeting of Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
開催日
2001.09.30-10.03
開催都市
Santa Tecla, Italy
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001281
Shimura
Takayoshi
Osaka University
共著者 1
0004419
Hosoi
Takuji
Osaka University
共著者 2
0006085
Fukuda
Kazunori
Osaka University
共著者 3
0005066
Umeno
Masataka
Osaka University
関連課題情報
課題番号
1999A0024
ビームライン
BL09XU
実験責任者
志村 考功