タイトル・発表先
研究成果番号
35967
登録日時
2018.04.23 10:40
DOI
10.1016/j.jcrysgro.2014.06.034
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Deflection of Threading Dislocations in Patterned 4H–SiC Epitaxial Growth
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Journal of Crystal Growth
巻
402
号
発行年
2014
頁
260-266
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
[A80] 産業利用
研究手法
[M60] X線イメージング
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0013411
Tsuchida
Hidekazu
Central Research Institute of Electric Power Industry
共著者 1
0034417
Takanashi
Ryosuke
Central Research Institute of Electric Power Industry
共著者 2
0009160
Kamata
Isaho
Central Research Institute of Electric Power Industry
共著者 3
Hoshino
Norihiro
Central Research Institute of Electric Power Industry
共著者 4
Makino
Emi
Denso Corporation
共著者 5
Kojima
Jun
Denso Corporation
関連課題情報
課題番号
2015B3321
ビームライン
BL08B2
実験責任者
鎌田 功穂