タイトル・発表先
35966
2018.04.23 10:33
10.7567/JJAP.52.04CP09
Plan-View and Cross-Sectional Photoluminescence Imaging Analyses of Threading Dislocations in 4H-SiC Epilayers
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Japanese Journal of Applied Physics
52 4S 2013 04CP09
[A80] 産業利用
[M60] X線イメージング
著者情報
 
主著者 0018129 Nagano Masahiro Central Research Institute of Electric Power Industry
共著者 1 0009160 Kamata Isaho Central Research Institute of Electric Power Industry
共著者 2 0013411 Tsuchida Hidekazu Central Research Institute of Electric Power Industry
関連課題情報
2015A3321 BL08B2 鎌田 功穂