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タイトル・発表先
研究成果番号	35576
登録日時	2018.03.08 09:35
DOI	10.1384/jsa.24.56
オープンアクセスジャーナルURL	https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsa/24/1/24_56/_article/-char/ja/
英語タイトル	Structural Analysis in the Surface of Nitride Semiconductor by Grazing Incidence X-ray Diffraction
日本語タイトル	微小角入射X線回折法による窒化物半導体表面の構造解析
発表形式	原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）	誌名 Journal of Surface Analysis 巻 24 号 1 発行年 2017 頁 55-60
発表先（口頭／ポスター発表）	講演会名開催日開催都市
研究分野	[A80] 産業利用
研究手法	[M10] X線回折

著者情報
	ユーザーカード番号	姓	名	所属
主著者	0028927	Motoya	Tsukasa	Mitsubishi Electric Corporation
共著者 1		Kurahashi	Kenichiro	Mitsubishi Electric Corporation
共著者 2	0004121	Uehara	Yasushi	Mitsubishi Electric Corporation