タイトル・発表先
研究成果番号
3459
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.3131/jvsj.45.297
オープンアクセスジャーナルURL
https://doi.org/10.3131/jvsj.45.297
英語タイトル
Phase Control of Bi
2
Sr
2
Ca
n-1
Cu
n
O
y
Sputtered Films Using He Gas
日本語タイトル
Heガスを用いたBi
2
Sr
2
Ca
n-1
Cu
n
O
y
スパッタ薄膜の組成制御
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
真空 (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻
45
号
3
発行年
2002
頁
297-300
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
第42回 真空に関する連合講演会
開催日
2001.10.17-10.19
開催都市
Tokyo, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
Matsumoto
Kosuke
Tottori University
共著者 1
0006272
Ogura
Mitsuru
Tottori University
共著者 2
0009628
Katsurahara
Koji
Tottori University
共著者 3
0004624
Kishida
Satoru
Tottori University
共著者 4
0001466
Mizutani
Takeshi
National Institute for Materials Science
共著者 5
0001407
Yoshikawa
Hideki
National Institute for Materials Science
共著者 6
0004198
Fukushima
Sei
National Institute for Materials Science
共著者 7
Tokutaka
Heizou
Tottori University
関連課題情報
課題番号
C01B2002
ビームライン
BL15XU
実験責任者
福島 整