タイトル・発表先
研究成果番号
3444
登録日時
2007.01.30 10:56
DOI
10.1016/S0924-4247(02)00011-0
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Direct Microfabrication Using an X-Ray Micro-Beam
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Sensors and Actuators A
巻
97-98
号
発行年
2002
頁
725-728
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
Transducers '01
開催日
2001.06.10-06.14
開催都市
Munich, Germany
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0004877
Katoh
Takanori
Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
共著者 1
0004878
Zhang
Yanping
Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
共著者 2
0001230
Kagoshima
Yasushi
Himeji Institute of Technology
共著者 3
0001231
Tsusaka
Yoshiyuki
Himeji Institute of Technology
共著者 4
0001232
Matsui
Junji
Himeji Institute of Technology
関連課題情報
課題番号
C00A0551
ビームライン
BL24XU
実験責任者
張 延平
課題番号
C01A5051
ビームライン
BL24XU
実験責任者
張 延平