タイトル・発表先
34240
2017.08.08 13:57
10.1088/1361-6528/aa6a9f
Simple and Scalable Preparation of Master Mold for Nanoimprint Lithography
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
Nanotechnology
28 20 2017 205303
[A80] 産業利用
[M20] X線散乱
著者情報
 
主著者 0039118 Yamada Yuri Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 1 Ito Kota Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 2 Miura Atsushi Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 3 Iizuka Hideo Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 4 0029327 Wakayama Hiroaki Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
関連課題情報
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