タイトル・発表先
研究成果番号
33603
登録日時
2017.05.08 12:10
DOI
10.1149/07505.0207ecst
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Oxidizing Species Dependence of the Interface Reaction during Atomic-Layer-Deposition Process and Post-Deposition-Anneal
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
ECS Transactions
巻
75
号
5
発行年
2016
頁
207-214
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
[A30] 物質科学・材料科学
研究手法
[M50] 光電子分光
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0018695
Suwa
Tomoyuki
Tohoku University
共著者 1
0015560
Teramoto
Akinobu
Tohoku University
共著者 2
Koda
Yasumasa
Tohoku University
共著者 3
0045097
Saito
Masaya
Tohoku University
共著者 4
Sugita
Hisaya
Tohoku University
共著者 5
Hayashi
Marie
Canon Anelva Corporation
共著者 6
Tsuchimoto
Junichi
Canon Anelva Corporation
共著者 7
Ishii
Hidekazu
Tohoku University
共著者 8
Shiba
Yoshinobu
Tohoku University
共著者 9
Shirai
Yasuyuki
Tohoku University
共著者 10
Sugawa
Shigetoshi
Tohoku University
関連課題情報
課題番号
2016A5130
ビームライン
BL16XU
実験責任者
田中 政幸