タイトル・発表先
3338
2007.01.30 10:56
10.1016/S0168-583X(02)01407-6
Estimation of Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Means of Diffractometry Using a Parallel X-Ray Microbeam
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B
199 2003 19-22
International Conference on Synchrotron Radiation in Materials Science (SRMS)
2002.01.21-01.24 Shangri-La Hotel, Singapore
著者情報
 
主著者 0001231 Tsusaka Yoshiyuki Himeji Institute of Technology
共著者 1 0004194 Urakawa Masafumi Himeji Institute of Technology
共著者 2 0001341 Yokoyama Kazushi Himeji Institute of Technology
共著者 3 0003437 Takeda Shingo Himeji Institute of Technology
共著者 4 0005962 Katou Madomi Himeji Institute of Technology
共著者 5 0005961 Kurihara Hideaki Himeji Institute of Technology
共著者 6 0005963 Yoshida Fukiko Himeji Institute of Technology
共著者 7 0005966 Watanabe Kyoko Himeji Institute of Technology
共著者 8 0001230 Kagoshima Yasushi Himeji Institute of Technology
共著者 9 0001232 Matsui Junji Himeji Institute of Technology
関連課題情報
C01B5041 BL24XU 松井 純爾
C01B5042 BL24XU 篭島 靖
C01B5043 BL24XU 津坂 佳幸