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タイトル・発表先
研究成果番号	28395
登録日時	2015.02.16 12:35
DOI	10.1002/sia.5701
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル	Thickness and Coverage Determination of Multilayer with an Island-like Overlayer by Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy at Multiple Photon Energies
日本語タイトル	島状表面層を持つ多層膜の膜厚および被覆率に関する硬X線光電子分光による決定
発表形式	原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）	誌名 Surface and Interface Analysis 巻 47 号 2 発行年 2015 頁 265-269
発表先（口頭／ポスター発表）	講演会名開催日開催都市
研究分野	[A30] 物質科学・材料科学
研究手法	[M50] 光電子分光

著者情報
	ユーザーカード番号	姓	名	所属
主著者	0006869	Isomura	Noritake	Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 1	0014336	Kataoka	Keita	Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 2		Horibuchi	Kayo	Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 3	0006932	Dohmae	Kazuhiko	Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 4	0000627	Oji	Hiroshi	SPring-8/JASRI
共著者 5	0015680	Cui	Yi-Tao	SPring-8/JASRI, The University of Tokyo
共著者 6	0000618	Son	JinYoung	SPring-8/JASRI
共著者 7	0033227	Kitazumi	Kousuke	Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 8	0018550	Takahashi	Naoko	Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
共著者 9	0021962	Kimoto	Yasuji	Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.