タイトル・発表先
研究成果番号
27200
登録日時
2014.08.08 10:03
DOI
10.1116/1.4886770
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Mass Densification and Defect Restoration in Chemical Vapor Deposition Silicon Dioxide Film using Ar Plasma Excited by Microwave
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Journal of Vacuum Science & Technology A
巻
32
号
5
発行年
2014
頁
051502
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
[A80] 産業利用
研究手法
[M90] その他 X線反射率
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0005022
Kawase
Kazumasa
Mitsubishi Electric Corporatoin
共著者 1
0028927
Motoya
Tsukasa
Mitsubishi Electric Corporation
共著者 2
0004121
Uehara
Yasushi
Mitsubishi Electric Corporation
共著者 3
0015560
Teramoto
Akinobu
Tohoku University
共著者 4
0018695
Suwa
Tomoyuki
Tohoku University
共著者 5
Ohmi
Tadahiro
Tohoku University
関連課題情報
課題番号
2012A5131
ビームライン
BL16XU
実験責任者
河瀬 和雅