タイトル・発表先
研究成果番号
2392
登録日時
2007.01.30 10:55
DOI
10.3131/jvsj.45.604
オープンアクセスジャーナルURL
https://doi.org/10.3131/jvsj.45.604
英語タイトル
Initial Oxidation Processes of Si(001) Surfaces by Supersonic O
2
Mollecular Beams: Different Oxidation Mechanisms for Clean and Partially-Oxidized Surfaces
日本語タイトル
超音速O
2
分子線を用いたSi(001)表面の初期酸化過程：清浄表面と部分酸化表面での酸化反応機構の相違点
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
真空 (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻
45
号
7
発行年
2002
頁
604-608
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
第42回 真空に関する連合講演会
開催日
2001.10.17-10.19
開催都市
Tokyo, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0000390
Teraoka
Yuden
JAERI
共著者 1
0001305
Yoshigoe
Akitaka
JAERI
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment