タイトル・発表先
研究成果番号
23586
登録日時
2013.04.26 11:27
DOI
10.1016/j.mssp.2012.04.010
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Direct Observation of Local Atomic Structure in Arsenic Implanted Silicon
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Materials Science in Semiconductor Processing
巻
15
号
6
発行年
2012
頁
707-712
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
[A30] 物質科学・材料科学
研究手法
[M40] X線・軟X線吸収分光
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0008496
Yamazaki
Hideyuki
Toshiba Corporation
共著者 1
0004423
Yoshiki
Masahiko
Toshiba Corporation
共著者 2
0021691
Takaishi
Riichiro
Toshiba Corporation
共著者 3
0015222
Takeno
Shiro
Toshiba Corporation
関連課題情報
課題番号
2006B5060
ビームライン
BL16XU
実験責任者
山崎 英之
課題番号
2007A5060
ビームライン
BL16XU
実験責任者
山崎 英之
課題番号
2008B5060
ビームライン
BL16XU
実験責任者
山崎 英之