タイトル・発表先
研究成果番号
2182
登録日時
2007.01.30 10:55
DOI
10.1143/JJAP.41.4253
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Precise Control of Si(001) Initial Oxidation by Translational Kinetic Energy of O
2
Molecules
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Japanese Journal of Applied Physics
巻
41
号
6B
発行年
2002
頁
4253-4260
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2001)
開催日
2001.10.31-11.02
開催都市
Matsue, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0000390
Teraoka
Yuden
JAERI
共著者 1
0001305
Yoshigoe
Akitaka
JAERI
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment