タイトル・発表先
1830
2007.01.30 10:55
10.1143/JJAP.39.7026
Initial Oxidation of Si(001) Induced by the Translational Kinetic Energy of O2 Supersonic Molecular Beams
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Japanese Journal of Applied Physics
39 12B 2000 7026-7030
13th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2000)
2000.07.11-07.13 Tokyo, Japan
著者情報
 
主著者 0001305 Yoshigoe Akitaka JAERI
共著者 1 0001705 Sano Mutsumi JAERI
共著者 2 0000390 Teraoka Yuden JAERI
関連課題情報
None BL23SU SPring-8 Experiment